光氧催化废气处理的大体过程为恶臭气体利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。同时，利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
光氧催化氧化的特点:(1)光氧催化适合在常温下将废臭气体完全氧化成无毒无害的物质，适合处理高浓度、气量大、稳定性强的有毒有害气体的废气处理。（2）有效净化彻底：通过光氧催化可直接将空气中的废臭气体完全氧化成无毒无害的物质，不留任何二次污染。（3）绿色能源：光氧催化利用人工紫外线灯管产生的真空波紫外光作为能源来活化光氧催化剂，驱动氧化—还原反应，而且光氧催化剂在反应过程中并不消耗，利用空气中的氧作为氧化剂，有效地降解有毒有害废臭气体成为光氧催化节约能源的最大特点。（4）氧化性强：半导体光氧催化具有氧化性强的特点，对臭氧难以氧化的某些有机物如CHCl3、四氯化炭、六氯苯、都能有效地加以分解，所以对难以降解的有机物具有特别意义，光氧化化的有效氧化剂是羟基自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、0-），其氧化性高于常见的臭氧、双氧水、K2MnO4、次氯酸等。（5）广谱性：光氧催化对从烃到羧酸的种类众多有机物都有效，即使对原子有机物如卤代烃、染料、含氮有机物、有机磷杀虫剂也有很好的去除效果，只要经过一定时间的反应可达到完全净化。（6）寿命长：在理论上，光氧催化剂的寿命是无限长的，无需更换。
